Носач графитних дискова

Фокусирајући се на врхунска-област као што су полупроводници, интегрисана кола и производња чипова, развијамо високе{1}}чистоће, високе-равношце, високе-стабилне графитне носеће плоче. Посебно дизајниране за кључне процесе 2-12 инчних плочица, укључујући таложење, нагризање, жарење и јонску имплантацију, оне су основне компоненте које осигуравају прецизност обраде плочица и стопу приноса.​

✅ Екстремно висока чистоћа и ниска нечистоћа: Направљен од игличастог кокса високе{0}}чистоће, обрађен графитизацијом на високој температури од 3000 степени-, садржај пепела мањи или једнак 20ппм, елиминише контаминацију плочица металним нечистоћама и обезбеђује стабилност чипа;​

✅ Ултра-Висока прецизност равности: Кроз прецизну ЦНЦ машинску обраду и брушење, грешка равности мања или једнака ±0,005 мм, храпавост површине Ра мања или једнака 0,2 μм, гарантује уједначену силу и топлотну проводљивост плочица;​

је 50 КВА.

✅ Јака анти-отпорност на оксидацију и корозију: усвајање специјалне технологије керамичког премаза на површини, отпорне на 1200 степени високе температуре и плазма корозије, радни век 4-6 пута дужи од обичних графитних плоча;​

✅ Прилагођено прилагођавање: Подржава прилагођавање различитих величина плочице (2/4/6/8/12 инча), расподелу рупа и спецификације дебљине, компатибилне са различитом полупроводничком опремом као што су ЦВД, ПВД и машине за гравирање.​

Придржавајући се строгих стандарда индустрије полупроводника, спроводимо рафинирану контролу квалитета током целог процеса од пречишћавања сировина, обраде калупа до инспекције готовог производа. Пружамо поуздана и ефикасна решења за графитне носеће плоче за глобална предузећа у области полупроводника, помажући у побољшању приноса производње чипова и ефикасности производње.